艾弗森贝博ballbet官网·半导体特种气体供应系统设计纲要

2024-04-15 23:46:50 | 来源：贝博bb平台登录入口作者：贝博平台官网入口

　　当生产厂房内的气体储量超过规定数量时，应设计独立的特种气体站。如硅烷站、三氟化氮站、氨气站等。

　　生产厂房内特种气体管道的干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内，当与水电管线共架时，当相对密度小于或等于0.75 的气体管道宜设在水、电管线的特气管道宜设在水、电管线下部。

　　特种气体站和特种气体间的电力负荷分级不宜低于二级负荷；可燃、自燃、毒性与腐蚀性气体设备应为一级负荷；气体管理与气体泄漏探测系统为一级负荷中特别重要的负荷，必须配置不间断电源。

　　特种气体间应设置连续的机械通风系统，应满足房间最小通风换气次数每小时6 次；紧急通风次数每小时不得小于12次。