上海兄弟微电子技术有限公司                                                 电子废气处理装置 Local Scrubber 简介    一  半导体废气处理特性  半导体工艺中常使用的化学物质及其副产物,一般依照其化学特性与其不同的影响范围, 可分为:  1 易燃性气体如 SiH4 H2 等  2 毒性气体如 AsH3,PH3 等  3 腐蚀性气体如 HF,HCl 等  4 温室效应气体如 CF4,NF3 等  由于以上四种气体对环境或皆具有一定的危害性,必须防止其直接排放大气中,所以, 一般半导体厂都以加装大型中央废气处理系统.但此系统仅以水洗涤废气.故其应用范围仅限 于处理水溶性气体,无法因应日新月异且分工细微的半导体工艺废气.  因此必须依据各工艺所衍生出的气体特性种类,选择搭配相对应的废气处理设备,才能有 效解决废气问题.而由于工作区域多半离中央废气处理系统前,常因气体特性导致管路中结晶 或粉尘堆积,造成管路堵塞后导致气体泄漏,严重者甚至引起爆炸,无法确保现场工作人员之 工作安全.因此在工作区域需配置适合工艺气体特性的小型废气处理设备(Local Scrubber), 以 减少在工作区域滞留的废气,确保人员安全。参见下图，Local scrubber 的地位与作用。    上海兄弟微电子技术有限公司，从事特气系统工程十余年，生产特气柜，VMB 及现场废气 处理装置（local scrubber ）；    二 半导体工艺废气处理方式  依据废气处理的特性,在处理可分为四种处理方式:  1 水洗式(处理腐蚀性气体)  2 氧化式(处理燃烧性,毒性气体  3 吸附式(干式)(依照吸附材种类处理对应之废气  4 等离子燃烧式(各类型废气皆可处理)  各类型之处理皆有其优缺点及其适用范围.如表一所示.  处理方式  适用范围  优点  缺点  水洗时    设备便宜处理方式简单  仅能处理水溶性气体  电热水洗式    应用范围较水洗时广  运转成本高  干式    处理效率佳  不适用于容易堵塞或气体流 1    上海兄弟微电子技术有限公司                                                 量较大的工艺;运转成本高  等离子式    处理效率佳  成本高,不适用于粉尘过多之 工艺  其中  （1）水洗式废气处理是最便宜的简单的处理方式,但只能处理水溶性气体;      Br‐WGW‐600 （上海兄弟微电子技术有限公司制造 ）  目前这类设备用得相当广泛，如MOCVD，PECVD，ICP 等设备用 NH3 Cl2，BCL3 都用得到.   (2)氧化式废气处理则是利用高温(火焰燃烧或者热电偶加热),使气体达到氧化所需温度,转变 为没有危害性之气体再排放,应用范围较水洗式广泛,但建造成本及运转成本也较水洗式高;    Br‐4  （上海兄弟微电子技术有限公司制造 ）  此类设备在 PECVD 上用得很广泛，如用到 SiH4，PH3，B2H6，H2  ，CH4 甚至 NF3 都可用此 类设备处理。  (3)吸附式则依照所需处理的废气种类,使用不同材质的吸附料,让废气通过吸附剂转变为 没有危害性的气体再排放,此类系统的废气处理效率佳,但由于吸附剂让气体通过的通道由孔 隙大小的限制, 以及每组吸附剂都有其吸附处理的极限流量, 因此不适用于容易堵塞或者气体 流量较大的工艺中,而导致吸附剂需经常更换,使运转成本更高;  (4)等离子式,其废气处理范围最广,处理效率佳,唯独其成本较高,且同样不适用于粉尘过多 之工艺.  2    上海兄弟微电子技术有限公司                                                 三 废气处理的选型    具体在选择废气处理时，从技术层面上来说，先把废气分类，按照下面的图形找出最适合 的一类或两类，当然以下分类并不是绝对的，比如 B2H6 PH3 等气体也可采用电热式处理，   实际上目前国内在选择废气处理是有如下折衷方式：  （1） He Ar O2 N2 CO2 等气体可直接向大气排放；  （2 ） H2 确保安全的情况下高处排放；  （3 ） CF4  SF6 等 PFC 氟化物气体除有毒有害的 NF3 等气体外，对无直接伤害，可直 接排放。但是这些气体会破坏大气臭氧层，所以尽量处理后排放；  （4 ） 在考虑废气处理时要考虑的因素有：  A: 后续的固体或液体废物的处理方法，比如是否有酸碱中和池，更换吸附剂是否方 便等;  B: 工厂的整体环保措施以及当地的政策法规等；  C：购置成本或运行成本。    详情请和上海兄弟微电子技术有限公司联系。  上海兄弟微电子技术有限公司 Shanghai Brother Microelectronics Technology Co.,Ltd 技术/销售热线 Email: sales@ 网址： 地址：上海康桥工业园区浦三路 3721 号 3 楼（近秀沿路） 电子特气柜，阀门箱，电子废气处理，气体纯化，电子化学品输送系统，高纯管道工程 电子特气柜及附件 /product/list.php?catid=4 BSGS(大宗特气系统) /product/show.php?productid-7.html Scrubber 废气处理 /produc

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