由于特气的性质及用量不同，特气系统的输送方式有多种，但绝大部分特气输送系统都由以下5个部分组成，下面由沃飞科技特气输送系统集成商为大家详细讲述一下特气输送系统简介及组成部分。

　　此系统与大宗特气气源连接，通过全自动控制为工艺设备精确高效的输送和供应特种气体。全自动大宗特气输送柜主要有3部分：內部的气盘、输送柜柜壳及柜体上方的可编程。气盘是输送柜内部的主体结构，主要由面板、气动阀、调压阀、压力传感器及真空发生器等构成。其外壳主要由冷轧钢板及安全玻璃构成，具有防爆防漏的功能。柜体上部为可编程控制箱。

　　其设备原理：将两瓶工艺上需使用的特种气体的Y-钢瓶（以下简称A、B气瓶）放置于气体房中，气瓶与输送柜连接，通过控制箱控制气动阀门的开启及关闭来达到送气的目的。另外将一瓶高纯氮气钢瓶（以下简称C气瓶）置放于输送柜中，用于吹扫盘面。将A气瓶的阀门打开后，点击控制箱的触摸屏通知控制箱气瓶已开，控制箱的电磁阀即会接收到信号输送压缩空气等气动气源来开启气盘的气动阀，气动阀一经开启，气瓶中的特气即会经过调压阀、过滤器等处理后被送至后段设备。当A气瓶中的气量达到最小设定量时，磅秤或压力传感器会测量并发送信号，通知控制箱关闭电磁阀，电磁阀停止输送气动气源，则气动阀关闭，A气瓶中的气体输送停止。同时控制箱发送信号开启控制B气瓶的电磁阀，则与前述控制A气瓶的电磁阀被开启一样，最终实现B气瓶的气体被输送至后段。如此实现气柜自动切换A/B气瓶并自动供气的核心功能。操作人员可在撤换A或B气瓶的时候开启C气瓶中的吹扫氮气对设备管路进行吹扫，保证管路的纯净度。

　　GC的工作原理与BSGS相同，但GC的密封性更好，且钢瓶是放在气柜内的。GC有更强的防爆功能。但GC的气体流量没有BSGS大，其使用的阀门管道等配件尺寸都小于BSGS。

　　GR主要用于惰性气体的输送，GR内主要部件和GC大体一致，减少了柜体和一些电子传感器件，同时没有自动吹扫功能，钢瓶交换过程主要由人手动操作完成。

　　当多台工艺设备均使用某一种特种气体时，行业内使用VMB（阀门分配箱）或者VMP（阀门分配盘）将集中供气气源通过多条支路上的阀门等装置分流到各个工艺设备供其使用特气。

　　VMB与VMP的工作原理相同，只是VMB多一个外壳，增加其密封性，且装有排风设施保持柜体内负压。VMP一般输送惰性气体，VMB则输送有毒有害、易燃易爆的气体。

　　特气供气设备在进行钢瓶交换时都要进行管道吹扫操作，如所供特气为有毒、腐蚀性及易燃易爆的气体时，则吹扫排出的气体不能直接排放，需要经过尾气处理装置处理符合环保标准后才能排放。有毒、腐蚀性及易燃易爆的气体在经过工艺设备使用后也需要做相应地处理，才能安全排放。

　　GMS是对气体设备运行状态的实时监控和记录，例如输送压力如何，设备有无异常、警报等。同时GMS具有多种历史查询功能，可反馈记录时间内任一时段的压力曲线、报警记录等。

　　GDS主要由气体探测器、报警和装有专门软件的计算机组成。报警通过PLC联动控制特气设备气动阀的电磁阀，并发出声光报警。某些GDS的报警还联动相应的风机，一旦特气泄漏除了自动关闭特气设备供气阀门外，还能启动该房间的强制排风。特气中的惰性气体无需对应的气体侦测器进行监控，只检测所在环境中的氧气浓度。而对于工艺设备而言，当使用多种有毒、易燃易爆或腐蚀性的特气时，需配备多种对应的气体侦测器。

　　GMS及GDS系统一般设置一级报警和二级报警两个级别，对应和红色声光警报。GMS系统中警报的设定值一般是根据工艺要求的特气输送压力来设定的，而GDS的警报值是根据该特气的TLV值来设定的。一般GDS系统一级警报的设定值为该特气的TLV值的一半，二级警报的设定值为该特气的TLV值。

　　特气的输送管道是由具备专门气体管路焊接资质的人员才能进行焊接的，管道焊接安装完成后，需经过专业的技术人员进行5项测试，如保压、氦检、颗粒测试、水分测试、氧份测试。对于输送腐蚀性气体的管道还要进行钝化操作。

　　特气输送管道的材质和接头形式也有指定要求，目前特种气体多使用SUS316L EP级不锈钢管，接头形式为VCR方式。对于剧毒特气需使用双套管的形式来输送，内管与外套管之间进行抽真空操作，并安装负压表实时监控其真空度。内管采用EP级不锈钢管，外套管可采用BA级不锈钢管。对于特气中的惰性气体也一般采用BA级不锈钢管。

　　以上就是沃飞科技特气输送系统集成商为大家详述的关于特气输送系统的简介及组成部分，希望可以给大家提供参考。

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